Enduraz XM01 耐高溫|良好的耐腐蝕能力|優越的機械性能
特性與優勢
• 較優越的耐高溫性能
• 優越的氧、氟等離子體耐受性
• 低放氣率
• 高耐磨性
• 優異的機械性能
應用領域
• 腔體密封
• 氣體管路密封
• 閥門密封
• 法蘭密封
• Bonded slit valve doors
工藝應用
• LPCVD工藝
• RTP工藝
• 外延爐
• ALD
• 及其他擴散工藝
性能參數
典型值 | ||
材質 | Enduraz XM01 | |
顏色 | 黑色 | |
硬度, Shore A | 75 | |
100%模量, Mpa | 11.3 | |
抗拉強度, Mpa | 17.5 | |
延展性, % | 144 | |
壓縮形變: 204℃,70h | 26 | |
工作溫度 | 315℃ |
Enduraz XM01是一款專為半導體嚴苛制程研發的耐高溫材質,其工作范圍為-10至315°C,可以耐受諸如LPCVD、RTP、外延爐等超高溫系統的工作環境。 除了出色的耐熱性,Enduraz XM01還具有良好的耐等離子體性能,適用于大多數等離子體制程工藝(如蝕刻,PECVD,LPCVD,WCVD,PVD,ALD,等離子清洗等)。 此外,它還可以提供廣泛的在多種介質中的耐化學性,包括酸,苛性堿,酮,醛,酯,醚,醇,溶劑,酸性氣體和碳氫化合物等。