<noframes id="5pn5t"><form id="5pn5t"><th id="5pn5t"></th></form>

<span id="5pn5t"><th id="5pn5t"><track id="5pn5t"></track></th></span>
<noframes id="5pn5t">

<form id="5pn5t"><th id="5pn5t"><th id="5pn5t"></th></th></form>
    <span id="5pn5t"><span id="5pn5t"><track id="5pn5t"></track></span></span><noframes id="5pn5t"><form id="5pn5t"><span id="5pn5t"></span></form>
      <em id="5pn5t"></em><span id="5pn5t"></span>
      <noframes id="5pn5t"><span id="5pn5t"></span>

        <noframes id="5pn5t"><span id="5pn5t"></span><noframes id="5pn5t">

          <em id="5pn5t"><strike id="5pn5t"><dl id="5pn5t"></dl></strike></em>

          <form id="5pn5t"><th id="5pn5t"></th></form>
          微信圖片_20210615153751

          Enduraz XM01 耐高溫|良好的耐腐蝕能力|優越的機械性能

          特性與優勢

          • 較優越的耐高溫性能

          • 優越的氧、氟等離子體耐受性

          • 低放氣率

          • 高耐磨性

          • 優異的機械性能

           

          應用領域

          • 腔體密封

          • 氣體管路密封

          • 閥門密封

          • 法蘭密封

          • Bonded slit valve doors

           

          工藝應用

          • LPCVD工藝

          • RTP工藝

          • 外延爐

          • ALD

          • 及其他擴散工藝

           

          性能參數

            典型值
          材質 Enduraz XM01                 
          顏色 黑色
          硬度, Shore A                                                               75
          100%模量, Mpa 11.3
          抗拉強度, Mpa 17.5
          延展性, % 144
          壓縮形變: 204℃,70h 26
          工作溫度 315℃

          產品中心

          ?

          PRODUCT

          Enduraz XM01是一款專為半導體嚴苛制程研發的耐高溫材質,其工作范圍為-10至315°C,可以耐受諸如LPCVD、RTP、外延爐等超高溫系統的工作環境。 除了出色的耐熱性,Enduraz XM01還具有良好的耐等離子體性能,適用于大多數等離子體制程工藝(如蝕刻,PECVD,LPCVD,WCVD,PVD,ALD,等離子清洗等)。 此外,它還可以提供廣泛的在多種介質中的耐化學性,包括酸,苛性堿,酮,醛,酯,醚,醇,溶劑,酸性氣體和碳氫化合物等。
          彩37