Enduraz XM02 耐高溫|良好的耐腐蝕能力|優越的機械性能

Enduraz XM02是一款專為半導體嚴苛制程研發的耐高溫材質，其工作范圍為-10至300°C，可以耐受諸如LPCVD、RTP、外延爐等超高溫系統的工作環境。 除了出色的耐熱性，Enduraz XM02還具有良好的耐等離子體性能，適用于大多數等離子體制程工藝（如蝕刻，PECVD，LPCVD，WCVD，PVD，ALD，等離子清洗等）。 此外，它還可以提供廣泛的在多種介質中的耐化學性，包括酸，苛性堿，酮，醛，酯，醚，醇，溶劑，酸性氣體和碳氫化合物等。