Enduraz HS04 優異的氧離子耐受性能
特性與優勢
• 優異的耐腐蝕能力
• 高潔凈度
• 優異的機械和密封性能
應用領域
• 腔體密封
• 閥門密封
• 管路密封
• 法蘭密封
工藝應用
• 干法刻蝕
• 化學氣相沉積
• 去膠工藝
性能參數
典型值 | ||
材質 | Enduraz HS04 | |
顏色 | 灰色 | |
硬度, Shore A | 70 | |
比重 | 2.00 | |
抗拉強度, Mpa | 11.4 | |
延展性, % | 163 | |
壓縮形變: 204℃,70h | 21 | |
工作溫度 | 300℃ |
高強度氧離子被大量應用于CVD、ETCH的苛刻工藝,使腔體對耐腐蝕性全氟橡膠材料的要求越來越高。
Enduraz HS04作為新一代全氟橡膠材質具備較強的耐氧能力,而且其嚴格的材料選擇和制造過程保證了材料高潔凈度,從而滿足先進制程的要求。
Enduraz HS04的工作溫度可達 300°C,并具備優越的機械性能,可應用于靜態和動態晶圓加工應用環境,如門閥、腔體以及管路密封等。
Enduraz HS04作為新一代全氟橡膠材質具備較強的耐氧能力,而且其嚴格的材料選擇和制造過程保證了材料高潔凈度,從而滿足先進制程的要求。
Enduraz HS04的工作溫度可達 300°C,并具備優越的機械性能,可應用于靜態和動態晶圓加工應用環境,如門閥、腔體以及管路密封等。