Enduraz HS04 優異的氧離子耐受性能

高強度氧離子被大量應用于CVD、ETCH的苛刻工藝，使腔體對耐腐蝕性全氟橡膠材料的要求越來越高。
Enduraz HS04作為新一代全氟橡膠材質具備較強的耐氧能力，而且其嚴格的材料選擇和制造過程保證了材料高潔凈度，從而滿足先進制程的要求。
Enduraz HS04的工作溫度可達 300°C，并具備優越的機械性能，可應用于靜態和動態晶圓加工應用環境，如門閥、腔體以及管路密封等。