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          HS04照片

          Enduraz HS04 優異的氧離子耐受性能

          特性與優勢

          • 優異的耐腐蝕能力

          • 高潔凈度

          • 優異的機械和密封性能

           

          應用領域

          • 腔體密封

          • 閥門密封

          • 管路密封

          • 法蘭密封

           

          工藝應用

          • 干法刻蝕

          • 化學氣相沉積

          • 去膠工藝

           

          性能參數

            典型值
          材質 Enduraz HS04                
          顏色 灰色
          硬度, Shore A                                                               70
          比重 2.00
          抗拉強度, Mpa 11.4
          延展性, % 163
          壓縮形變: 204℃,70h 21
          工作溫度 300℃

          產品中心

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          PRODUCT

          高強度氧離子被大量應用于CVD、ETCH的苛刻工藝,使腔體對耐腐蝕性全氟橡膠材料的要求越來越高。
          Enduraz HS04作為新一代全氟橡膠材質具備較強的耐氧能力,而且其嚴格的材料選擇和制造過程保證了材料高潔凈度,從而滿足先進制程的要求。
          Enduraz HS04的工作溫度可達 300°C,并具備優越的機械性能,可應用于靜態和動態晶圓加工應用環境,如門閥、腔體以及管路密封等。
          彩37