Enduraz HS03 增強耐腐蝕性能

Enduraz HS03是專為高強度等離子刻蝕環境開發的新一代全氟橡膠材質。它具備增強的抗等離子體性能，較低的顆粒生成量，從而大大提高晶圓良率。
Enduraz HS03具備優越的機械性能，可應用于靜態和動態晶圓加工應用環境。
Enduraz HS03可在高達 280°C 的工作溫度下使用，短時工作溫度甚至可達 300°C。